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            設備介紹
            GNX300B
            l日本OKAMOTO生產
            l減薄尺寸:8”~12”
            l極限減薄厚度:100um
            l轉速:0~3600rpm
            l最小移動量:1um
            l單片誤差:10um
            l片間誤差:±5um
            VG502-MKII 8B
            l日本OKAMOTO生產
            l減薄尺寸:5”~8”
            l極限減薄厚度:100um
            l轉速:0~3600rpm
            l最小移動量:1um
            l單片誤差:10um
            l片間誤差:±5um

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